Xenon (Xe) ist eines der seltensten Edelgase. Seine zahlreichen Anwendungsmöglichkeiten machen es extrem wertvoll. Wenn Sie das strahlend weiße Licht eines Autoscheinwerfers gesehen haben, haben Sie Xenon bei der Arbeit erlebt. Die Xenon-Lampen erzeugen Licht mit sehr hoher Leuchtkraft und sind gleichzeitig äußerst energieeffizient. Daher finden sie in der Produktion von Hochleistungsbeleuchtung breite Anwendung.
Air Products liefert seit den 1960er Jahren Xenon für Satellitenprogramme, Raumfahrt, Antriebsmittel für Raumfahrzeuge und Satellitentriebwerke. Wir beliefern auch die Bereiche Halbleiter, Beleuchtung und Medizintechnik.
Air Products versteht sich auf Reinheit. Das in Halbleiterprozessen verwendete Xenon muss sehr rein sein, da jegliche Verunreinigungen das Siliziumsubstrat verunreinigen oder mit den Prozesschemikalien, wie z.B. Fluor, zu giftigem und hochkorrosivem Fluorwasserstoff (HF) reagieren.
In der Luft- und Raumfahrt muss das Xenon aufgrund der Empfindlichkeit der Elektroden einen sehr niedrigen Sauerstoff- und Feuchtegehalt aufweisen, um die Elektrode nicht zu verbrennen. Das ultra-hochreine Xenon von Air Products wurde speziell für Gamma- und Röntgenspektroskopie-Detektoren entwickelt, die zur Grundlagenforschung des Universums und der dunklen Materie eingesetzt werden.
Seltene Gase, auch Edelgase genannt, sind die inertesten und am wenigsten reaktiven Elemente, die dem Menschen bekannt sind. Sie kommen in sehr geringen Konzentrationen in der Umwelt vor und werden von Luftzerlegungsanlagen (ASU) hergestellt. Aufgrund ihrer einzigartigen chemischen Eigenschaften haben Experten neue und interessante Anwendungen für sie gefunden.
Xenon wird zum Ätzen und Abscheiden von Mikrochips in der Halbleiterherstellung verwendet, sowohl als Atmosphäre, Plasma als auch als Ionenstrahlquelle für Ätz- und Abscheidungsprozesse. Das in diesem Verfahren verwendete Xenon muss sehr rein sein, da Verunreinigungen das Siliziumsubstrat verunreinigen oder mit den Prozesschemikalien wie Fluor zu giftigem und hochkorrosivem Fluorwasserstoff (HF) reagieren können. Als weltweit führender Anbieter von Dienstleistungen für die Elektronikindustrie wird das Xenon von Air Products in unserem hochmodernen Werk für Elektronikprodukte hergestellt, um eine entsprechende Qualität zu sichern. Es kann für Excimer-Laser, Laserpuffergase, das Ätzen von DRAM und 3D-NAND sowie für die Herstellung von Plasmabildschirmen verwendet werden.
Von großen Luftzerlegungsanlagen bis hin zu Reinstgasen mit dem Reinheitsgrad 6.0 - Air Products bietet flexible Versorgungsoptionen entsprechend Ihrer Anforderungen.