Edelgase
Selten und hilfreich
Edelgase, auch seltene Gase genannt, sind inerte und die am wenigsten reaktiven Elemente, die heute bekannt sind. Sie kommen in sehr geringen Konzentrationen in der Umwelt vor (0.001818% Neon, 0.000114% Krypton und 0.0000087% Xenon) und werden im Rahmen der Luftzerlegung gewonnen. Aufgrund ihrer einzigartigen chemischen Eigenschaften werden sie für verschiedenste Anwendungen genutzt.
Die meisten Edelgase sind sehr stabil, d.h. ihre Ionisierungsenergie ist sehr hoch. Damit eignen sie sich als Ionenstrahlquellen zum Reinigen, Schneiden oder Schweißen von Materialien. Eine weitere Eigenschaft ist ihre einzigartige Fähigkeit, helles Licht zu erzeugen, das in Form eines Lasers (Neon-/Helium-Laser) oder einer Lichtquelle (Xenon) vorliegen kann. Schließlich sind sie sehr schwere und dichte Gase, weshalb sie in Antriebsmotoren oder für die Isolierung von Fenstern eingesetzt werden.
Air Products kann dank seines globalen Netzwerks aus Speicher- und Füllanlagen Edelgase und Edelgasmischungen in einer Vielzahl von Reinheiten, Konzentrationen und Lieferformen weltweit anbieten.
Qualität und Effizienz bei der Herstellung von Edelgasen
Edelgase sind in nur sehr geringen Mengen in der Luft enthalten.
Xenon ist mit nur 90 Gramm pro 1 Million Kilogramm äußerst selten in der Erdatmosphäre vorhanden. Kommerziell wird das Gas nur in großen Luftzerlegungsanlagen gewonnen, die mehr als 1.000 Tonnen Sauerstoff pro Tag produzieren.
Air Products verfügt über effiziente Reinigungstechnologien, die erforderlich sind, um Verunreinigungen wie Argon und Stickstoff, die sehr reaktionsträge sind, zu entfernen.
In unseren Anlagen für hochreine Gase in Asien füllen wir Edelgase in Flaschen ab, die in hochwertigen Industriesegmenten eingesetzt werden.
Xenon für die Herstellung von Halbleiter- und Speicherchips
Xenon wird zum Ätzen und Abscheiden von Mikrochips in der Halbleiterherstellung verwendet, sowohl als Atmosphäre, Plasma als auch als Ionenstrahlquelle für Ätz- und Abscheidungsprozesse. Das in diesem Verfahren verwendete Xenon muss sehr rein sein, da Verunreinigungen das Siliziumsubstrat verunreinigen oder mit den Prozesschemikalien wie Fluor zu giftigem und hochkorrosivem Fluorwasserstoff (HF) reagieren können. Als weltweit führender Anbieter von Dienstleistungen für die Elektronikindustrie wird das Xenon von Air Products in unserem hochmodernen Werk für Elektronikprodukte hergestellt, um eine entsprechende Qualität zu sichern. Es kann für Excimer-Laser, Laserpuffergase, das Ätzen von DRAM und 3D-NAND sowie für die Herstellung von Plasmabildschirmen verwendet werden.
Integrierte Gasversorgung
Von großen Luftzerlegungsanlagen bis hin zu Reinstgasen mit dem Reinheitsgrad 6.0 - Air Products bietet flexible Versorgungsoptionen entsprechend Ihrer Anforderungen.
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