Neon
Das Edelgas Neon ist ein Synonym für Leuchtreklamen, die die größten Städte der Welt erleuchten. Dieses Gas leuchtet hellorange und ist besonders aus der Entfernung gut sichtbar.
Air Products liefert Neon und Neonfluor-Excimer-Lasermischungen für Lithografie, Ätzen, LASIK, Mikrobearbeitung organischer Materialien, Mikrobohren und Würfeln.
Die Verwendung von Neon
Die Verwendung von Neon in Ultraviolett-Lasern, den sogenannten Excimer-Lasern, ist heute die wichtigste Anwendung. Der Begriff Excimer ist eine Abkürzung für angeregte Dimere. Dieser Laser ist besonders gut geeignet, um saubere und präzise Schnitte im Bereich von Hunderten von Nanometern durchzuführen. Da der UV-Laser keine Wärme erzeugt, verursacht er keine Narbenbildung, weshalb er bei der Augenlaserchirurgie (LASIK) eingesetzt wird. In der Halbleiterherstellung wird es für die Lithografie verwendet. Da seine Wellenlänge sehr kurz ist, können auf dem Wafer-Chip Muster von bis zu 193 Nanometern erzeugt werden.
Air Products Laser-Premix-Mischungen bestehen aus sehr reaktiven, toxischen und korrosiven Materialien wie Fluor und Xenon. Die Erstellung eines genauen und stabilen Laser-Premix ist sehr wichtig, um eine konstante Laserleistung zu gewährleisten, die zu optimalen und reproduzierbaren Ergebnissen führt. Es ist auch wichtig, die Sicherheit zu gewährleisten, damit Verunreinigungen nicht mit Komponenten reagieren und gefährliche Gase wie Fluorwasserstoff bilden.
Edelgase
Seltene Gase, auch Edelgase genannt, sind die inertesten und am wenigsten reaktiven Elemente, die dem Menschen bekannt sind. Sie kommen in sehr geringen Konzentrationen in der Umwelt vor und werden von Luftzerlegungsanlagen (ASU) hergestellt. Aufgrund ihrer einzigartigen chemischen Eigenschaften haben Experten neue und interessante Anwendungen für sie gefunden.
Xenon für die Herstellung von Halbleiter- und Speicherchips
Xenon wird zum Ätzen und Abscheiden von Mikrochips in der Halbleiterherstellung verwendet, sowohl als Atmosphäre, Plasma als auch als Ionenstrahlquelle für Ätz- und Abscheidungsprozesse. Das in diesem Verfahren verwendete Xenon muss sehr rein sein, da Verunreinigungen das Siliziumsubstrat verunreinigen oder mit den Prozesschemikalien wie Fluor zu giftigem und hochkorrosivem Fluorwasserstoff (HF) reagieren können. Als weltweit führender Anbieter von Dienstleistungen für die Elektronikindustrie wird das Xenon von Air Products in unserem hochmodernen Werk für Elektronikprodukte hergestellt, um eine entsprechende Qualität zu sichern. Es kann für Excimer-Laser, Laserpuffergase, das Ätzen von DRAM und 3D-NAND sowie für die Herstellung von Plasmabildschirmen verwendet werden.
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Von großen Luftzerlegungsanlagen bis hin zu hochreinen Gasen der Reinheit 6.0 – Air Products erfüllt Ihre Anforderungen.