Hydrogen FAQs

Technische Gase (wie Stickstoff, Wasserstoff und Argon) für Ofenatmosphären zeichnen sich durch ihre sehr hohe Reinheit aus (> 99,995%). Typische Verunreinigungen liegen bei deutlich weniger als 10 ppmv (parts per million by volume) Sauerstoff und bei weniger als 3 ppmv Feuchtigkeit (<- 67° C Taupunkt). Diese Reinheit ist in der Regel für viele Prozesse mit einer Vielzahl von Materialien angemessen. Einige Materialien können jedoch aufgrund ihrer hohen Reaktivität eine zusätzliche Reinigung erfordern, um noch niedrigere Verunreinigungsgrade zu erreichen, insbesondere bei Gasen, die über eine Bulk- oder Tube-Trailer-Versorgung geliefert werden. In einigen Anlagen werden In-line-Reiniger als zusätzliche Vorsichtsmaßnahme gegen Verunreinigungen installiert, die vom Hausanschluss aufgenommen werden. Bei der In-line-Reinigung werden in der Regel Sauerstoff und Feuchtigkeit entfernt. Manchmal ist es bei der Argonversorgung erforderlich, Spurenverunreinigungen von Stickstoff zu entfernen. Die Wahl des Reinigungssystems hängt vom Gas und von der Art und Menge der zu entfernenden Verunreinigungen ab.