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 Air Products PRISM UHP Nitrogen Platform Generatoren sind
speziell auf die Anforderungen und Bedürfnisse der Halbleiter-Industrie
ausgelegt. Die Anlagen produzieren neben gasförmigem
Stickstoff auch hochreinen, flüssigen Sauerstoff.
Die Anlagenkapazitäten rangieren bei 5.800Nm³/h
bis zu 8.700 Nm³/h bei unterschiedlichen Drücken.
Die PRISM UHP Nitrogen Platform Generatoren liefern Stickstoff
und Sauerstoff mit folgenden Reinheitsgraden:
| Stickstoff: |
< 1 ppbv O2 |
< 1 ppbv H2O |
| Sauerstoff: |
<10 ppbv N2 |
< 1 ppbv H2O |
Profitieren Sie von diesen Vorteilen und Merkmalen:
Spezielle Auslegung auf die Bedürfnisse der
Halbleiter-Industrie
- Eigenproduktion hochreiner Gase
- Zuverlässige und flexible Versorgung
Vollautomatische Kontrollfunktionen
- Geringer Wartungsaufwand
- Sicherstellung einer kontinuierlichen Gasversorgung
Modulare Bauweise
- Kleine Stellfläche
- Schnelle und einfache Installation
Versorgung mit hochreinem Flüssigsauerstoff
- Bei Bedarf kostengünstige Produktion von Flüssigsauerstoff
vor Ort
Anlagenbetrieb über großen Bereich variabel
- Energieeffiziente Gasversorgung
- Senkung der Betriebskosten
Flexibilität
- Kapazitätsreduzierung bei reduziertem Energieverbrauch
- Schlüsselfertige Konzepte möglich
Mit Air Products steht Ihnen ein zuverlässiger
Partner zur Seite. Profitieren Sie von unserem Know-how.
Zu unserem Service rund um PRISM gehören:
- Prozess-Simulationen
- die Ermittlung des Gasbedarfs
- Prozessanalysen
- Gasanalysen
- das Projektmanagement
- Sicherheit, Gesundheit und Umweltschutz
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